| 特徴 |
PCU-30 は、電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。
低出力 RF 13.56MHz 励起プラズマ照射による高効率で試料損傷を抑制したクリーニングが可能です。
TEM,SEM,FIB 試料、試料ホルダー、及び絞りのアンチコンタミ処理が可能です。
チャンバー排気はターボモレキュラーポンプ、スクロールポンプによる完全クリーン排気系で油分寄せ付けないシステムです。
卓上型、小型省スペース・簡易操作を製品化設計に取り込み、ユーザの使い易い、省エネ装置となっています。
空気、アルゴン、アルゴン酸素、他広範囲の処理ガスに対応しています。
RF 電源パワーは、最大５０W 以下で高周波電源の届出の必要はありません。 |
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